截至3月17日收盘，光刻机概念下跌4.25%，位居概念板块跌幅榜前列，板块内，炬光科技、沃格光电、中瓷电子等跌幅居前，股价上涨的有3只，涨幅居前的有海立股份、美埃科技、联合化学等，分别上涨5.16%、3.19%、0.23%。
今日涨跌幅居前的概念板块
| 概念 | 今日涨跌幅（%） | 概念 | 今日涨跌幅（%） |
|---|---|---|---|
| 高股息精选 | 0.10 | 共封装光学(CPO) | -5.27 |
| 期货概念 | 0.02 | F5G概念 | -4.84 |
| 互联网保险 | -0.04 | 光纤概念 | -4.81 |
| 特钢概念 | -0.14 | PET铜箔 | -4.30 |
| 信托概念 | -0.15 | 光刻机 | -4.25 |
| 租售同权 | -0.19 | 培育钻石 | -4.12 |
| 特色小镇 | -0.20 | 6G概念 | -3.90 |
| 超级品牌 | -0.36 | 光刻胶 | -3.89 |
| 物业管理 | -0.49 | AI PC | -3.87 |
| 免税店 | -0.50 | 先进封装 | -3.80 |
资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流出18.54亿元，其中，38股获主力资金净流出，7股主力资金净流出超亿元，净流出资金居首的是炬光科技，今日主力资金净流出3.93亿元，净流出资金居前的还有赛微电子、大族激光、腾景科技等，主力资金分别净流出3.66亿元、1.80亿元、1.70亿元。今日主力资金净流入居前的概念股有海立股份、张江高科、苏大维格等，主力资金分别净流入1.09亿元、3078.16万元、2501.48万元。（数据宝）
光刻机概念资金流出榜
| 代码 | 简称 | 今日涨跌幅（%） | 今日换手率（%） | 主力资金流量（万元） |
|---|---|---|---|---|
| 688167 | 炬光科技 | -12.16 | 9.75 | -39297.73 |
| 300456 | 赛微电子 | -7.00 | 6.98 | -36649.08 |
| 002008 | 大族激光 | -5.39 | 3.07 | -18002.52 |
| 688195 | 腾景科技 | -8.63 | 5.55 | -16955.12 |
| 003031 | 中瓷电子 | -9.94 | 4.44 | -13402.19 |
| 300666 | 江丰电子 | -4.61 | 3.69 | -12535.85 |
| 603005 | 晶方科技 | -4.54 | 5.02 | -11092.77 |
| 002549 | 凯美特气 | -4.09 | 4.32 | -6795.82 |
| 688268 | 华特气体 | -5.54 | 7.43 | -5268.27 |
| 603738 | 泰晶科技 | -9.72 | 16.10 | -5054.54 |
| 300219 | 鸿利智汇 | -3.92 | 5.91 | -4923.45 |
| 688146 | 中船特气 | -5.30 | 6.07 | -4283.51 |
| 301611 | 珂玛科技 | -5.27 | 4.16 | -3915.48 |
| 600353 | 旭光电子 | -3.43 | 2.71 | -3826.91 |
| 600889 | 南京化纤 | -4.10 | 1.89 | -2347.09 |
| 688127 | 蓝特光学 | -4.72 | 2.75 | -2190.22 |
| 301568 | 思泰克 | -7.22 | 10.08 | -1899.27 |
| 300260 | 新莱应材 | -3.75 | 2.82 | -1693.36 |
| 301297 | 富乐德 | -2.46 | 1.06 | -1585.56 |
| 688630 | 芯碁微装 | -4.45 | 3.17 | -1549.12 |
| 603773 | 沃格光电 | -9.98 | 11.74 | -1543.02 |
| 600850 | 电科数字 | -1.85 | 1.13 | -1444.04 |
| 688199 | 久日新材 | -5.04 | 2.43 | -1404.83 |
| 688502 | 茂莱光学 | -5.35 | 1.68 | -1341.37 |
| 300786 | 国林科技 | -5.55 | 6.20 | -1293.66 |
| 301095 | 广立微 | -4.40 | 2.68 | -1284.64 |
| 688409 | 富创精密 | -6.39 | 2.12 | -1234.81 |
| 603360 | 百傲化学 | -1.54 | 0.89 | -839.19 |
| 300809 | 华辰装备 | -2.35 | 1.59 | -751.76 |
| 300293 | 蓝英装备 | -3.69 | 1.60 | -714.54 |
| 301209 | 联合化学 | 0.23 | 1.13 | -441.01 |
| 301421 | 波长光电 | -6.11 | 7.95 | -389.40 |
| 300414 | 中光防雷 | -3.38 | 2.73 | -383.25 |
| 688605 | 先锋精科 | -2.84 | 2.04 | -217.65 |
| 688079 | 美迪凯 | -4.93 | 1.75 | -198.95 |
| 002816 | *ST和科 | -0.17 | 2.36 | -83.30 |
| 688010 | 福光股份 | -2.81 | 1.09 | -72.16 |
| 603800 | 洪田股份 | -3.62 | 1.85 | -26.25 |
| 002889 | 东方嘉盛 | -0.99 | 0.63 | 181.80 |
| 603297 | 永新光学 | -2.09 | 0.97 | 469.98 |
| 688307 | 中润光学 | -3.77 | 3.61 | 528.18 |
| 003043 | 华亚智能 | -2.33 | 2.85 | 938.76 |
| 300990 | 同飞股份 | -7.64 | 6.72 | 998.27 |
| 688376 | 美埃科技 | 3.19 | 3.21 | 1900.58 |
| 300331 | 苏大维格 | -5.09 | 4.42 | 2501.48 |
| 600895 | 张江高科 | -0.35 | 1.80 | 3078.16 |
| 600619 | 海立股份 | 5.16 | 6.28 | 10897.23 |
