8月30日晚间，微导纳米（证券代码：688147.SH）发布了2023年半年度报告。报告期内，公司实现营业收入38207.72万元，同比增长145.53%，实现归母净利润6856.72万元。需要指出的是，相较上年同期，公司净利润数据成功实现扭亏为盈，同比增加10781.75万元。公司表示，业绩的显著改善得益于公司根据订单节奏合理安排的产品交付、客户验收，以及专用设备产品验收数量的增加，从而加速了前期在手订单的收入转化。

截止至报告期末，公司在手专用设备订单约62.53亿元，其中光伏设备订单56.21亿元，半导体设备订单5.48亿元，其他设备订单8,461万元。

公开信息显示，微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。

研发投入锐意进取，技术成果丰硕

自成立以来，公司专注于原子层沉积（ALD）技术的研发及应用场景拓展。ALD技术，作为一种具有普适意义的真空镀膜技术，可以在100%的阶梯覆盖率上实现原子层级的薄膜厚度。由于其沉积均匀性和一致性，具有广泛应用潜力，如微纳电子学、纳米材料、柔性电子、新型显示、MEMS、催化、光学器件等高精尖领域。这些应用前景体现了ALD技术的特点及优势，为公司未来的市场前景提供了无尽的想象空间。

出色的技术实力离不开持之以恒的技术投入。2023年上半年，公司研发投入9803.19万元，占收入比例超过25%，约50%投向半导体领域，包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目；另一部分投向光伏领域，包括TOPCon、XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术项目。此外，公司高度重视技术保护工作，强调知识产权发展战略与企业发展规划的融合，完善专利布局。截止报告期末，公司拥有国家专利授权共计108项，申请专利累计达285项。

凭借深厚的技术研发沉淀，微导纳米已掌握多项核心技术，包括原子层沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术等，这些技术已经成功地应用到公司的各类产品中。其中，公司在光伏设备领域的成果被评为江苏省首台（套）重大装备产品，此外，公司的“凤凰300”（也叫做iTomic原子层沉积设备）原子层沉积设备被列入第十五届中国半导体创新产品，产品研发实力或业内权威认可。

设备在手订单超60亿，多款设备实现产业化应用

在TOPCon电池产能扩张趋势加大和产品竞争力上升的持续推动下，公司在光伏设备方面的订单数量呈现稳定增长，市场份额逐步上升，产品已被广泛采用于国内的TOPCon新产线。与此同时，已经验收的XBC电池生产线产品已进入产业化应用的阶段。在半导体领域，公司正在加快现有产品的产业化验证进程，其中iTomic MW系列的批量式原子层沉积镀膜系统已经实现了首台的产业化应用，该设备可以一次处理25片12英寸的晶圆，具有高产能和良好的性能指标，从而进一步拓展了公司的工艺应用范围。

当下，公司正紧密跟随行业技术的发展趋势，与下游客户保持深度的稳定合作，不断推出定制化的高性能产品。新开发的第一代iTronix系列CVD薄膜沉积设备已获得客户订单，并在极短时间内出货到客户端进行产业化验证。依靠开发的行业内首个GW级PE-Poly TOPCon电池工艺整线的技术优势，公司已经推出了全新的TOPCon 2.0整线工艺技术解决方案，该解决方案的各项技术指标已经达到业内先进水平，并且受到产业界和学术界的广泛关注。

值得一提的是，公司在半导体领域已率先突破了难度较高的28nm逻辑电路栅氧层氧化铪工艺，并已获得客户的重复订单，这为公司覆盖全工艺段奠定了坚实的客户基础。目前，公司已经先后获得了多家国内著名半导体公司的商业订单，并且与多家国内主流的半导体制造商和验证平台签订了保密协议，同时进行产品技术验证等相关工作。在光伏领域，已经覆盖了包括通威太阳能、隆基绿能、晶澳太阳能、阿特斯阳光电力、天合光能等在内的多家知名的太阳能电池片制造商。

行业壁垒高筑，战略地位显著

在半导体设备领域，薄膜沉积设备制备的各类薄膜发挥着导电、绝缘、阻挡污染物等重要作用，直接影响半导体器件性能，其与刻蚀设备、光刻设备并称为晶圆制造的三大主设备，投资额占晶圆制造设备投资总额约22%。根据Maximize Market Research预计全球半导体薄膜沉积设备市场规模2025年将扩大至340亿美元，2022至2025年复合年均增长率达到15.6%，市场规模增速较快，前景广阔。

然而，由于半导体薄膜沉积设备具有极高的技术壁垒，传统的国际大型厂相对商成立较早，具有先发优势，而半导体设备又具有验证周期长、配套设施和供应链重置成本高的特点，后发厂商的客户认证壁垒较高。目前，全球薄膜沉积设备设备市场基本由应用材料、泛林半导体和东京电子所垄断，国产化率较低，具有较大国产替代空间。

作为国内领先的半导体薄膜沉积设备供应商，公司持续加速半导体领域内各细分领域的产品研发、产业验证和应用，实现多项ALD、CVD技术产业化的突破，在保持ALD产品市场竞争力和占有率的同时，不断推出更多具备竞争力的CVD系列产品。

受益于全球碳中和背景下的利好政策，全球能源转型驱动光伏装机规模不断扩大，太阳能晶硅电池片迎来了发展浪潮。薄膜沉积设备作为光伏电池的核心设备与新型工艺技术，其制备的薄膜将直接影响电池片的光电转换效率，重要地位不言而喻。

在行业发展浪潮中，微导纳米在报告期内与多家行业头部客户合作，实现了TOPCon新型高效电池生产线的规模化量产，推动下游客户的扩产计划加速，同时技术更迭使ALD技术在新一代高效电池设备中的投资比重增加，显著提升ALD设备在光伏领域的市场渗透率。

基于此，公司不仅在光伏领域进一步深化并拓宽市场覆盖率，全力推进工艺整线产品策略的实施，加快海外市场拓展，还积极布局更新一代高效电池技术和产品，既抓住了当前市场机遇，又为未来技术发展方向储备了坚实的力量。（CIS）