数据来源：Wind 阮润生/制表 陈锦兴/制图

证券时报记者 阮润生

经历产业周期性回调以及地缘政治冲击，半导体设备赛道仍彰显了“坡长雪厚”的特点，2022年A股半导体设备板块大部分公司业绩保持增长。尽管板块整体业绩增速有所下降，但龙头公司北方华创预告今年一季度盈利最高同比增长200%，进一步提振市场信心。

证券时报·e公司记者注意到，多家厂商表示，逆市飘红的业绩主要受益于国产半导体设备占有率提升，同时通过完善产品种类，提升了抗产业周期风险能力。有国内头部晶圆厂商向记者表示，今年公司产线已经加大对国产设备、材料的验证和导入力度。

龙头公司业绩高增长

国产光伏、半导体硅片设备龙头晶盛机电最新预测，去年实现净利润29.24亿元，同比增长约七成，并预计今年一季度业绩进一步增长，归母净利润8亿元~9亿元，同比增长80.86%~103.47%。得益于加速推进石英坩埚、金刚线等先进材料业务的扩产和品质提升，公司业绩同比大幅增长。

晶盛机电高管介绍，目前公司已基本实现8~12英寸大硅片设备的全覆盖并批量销售，6英寸碳化硅外延设备实现批量销售且订单量快速增长，产品质量达到国际先进水平；公司在手半导体设备合同订单约34亿元。

国产半导体设备龙头北方华创的业绩快报也给市场注入“强心剂”：去年公司实现营业收入146.88亿元，同比增长约五成；归属于上市公司股东的净利润23.53亿元，同比增长118.37%；今年一季度公司盈利增长提速。据预测，2022年一季度北方华创实现营业收入36亿元~40亿元，同比增长68.56%~87.29%；盈利5.6亿元~6.2亿元，同比增长171.24%~200.3%。

北方华创刻蚀机、PVD（物理气相沉积技术）、CVD（化学气相沉积）、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机等产品在集成电路及泛半导体领域实现量产应用，构建了半导体装备多品种、跨领域的产品平台，成为国内先进的半导体装备供应商。对于去年业绩增长，公司表示，营业收入增长主要是得益于半导体设备市场占有率提高，销售订单增长，以及成本及费用得到有效控制，增厚利润。

业绩发布后，北方华创股价4月14日强势涨停，报收314.61元/股，收复自去年8月以来回调失地，整个半导体设备板块也获提振。半导体板块经历了2022年下挫后，复苏预期不断增强，2023年以来Wind半导体设备板块累计上涨约30%。

半导体设备也带动设备零部件厂商业绩增长。富创精密发布业绩快报显示，去年公司净利润约2.4亿元，同比增长近九成。公司高管接受调研时预计，随着设备国产化率提升，公司现有首件产品的量产、公司产品向模组化方向发展以及向海外拓展，公司营收将会进一步增长。

除了半导体设备，半导体材料端业绩也保持增长。A股电子特气龙头华特气体预计，受益于国内半导体市场需求持续稳定增长，客户放量、稀有气体销量增长及新产品批量供应和原客户扩充品类，去年公司归母净利润2亿元，同比增长54.75%。

另外，金宏气体来自半导体收入也显著增长，去年已经成为公司营收贡献最大的板块，同比增三成至3.81亿元，毛利率增至约44%。据介绍，电子特种气体作为半导体制造的关键材料，金宏气体已经逐步实现了超纯氨、高纯氧化亚氮、电子级正硅酸乙酯、高纯二氧化碳等一系列产品的进口替代。公司自主研发的超纯氨、高纯氧化亚氮等产品已供应中芯国际、海力士、联芯集成、积塔等一批知名半导体客户。

前道设备业绩增长强劲

目前约八成A股半导体设备上市公司已经披露年报或者业绩快报，绝大多数公司去年实现业绩增长；不过，受景气度波动影响，板块整体盈利增速有所下降。

据Choice金融终端不完全统计，2020年、2021年和2022年（已披露年报和业绩快报上市公司），板块上市公司盈利增长中位数分别是95%、100%和55%，2021年成为盈利增速高峰，去年板块盈利增速或将回落。

进一步来看，设备板块增速分化比较显著，专注半导体制造前道以及产品线更齐全类公司业绩增长相对更强劲。

清洗设备头部公司盛美上海业绩实现大跨越，公司净利润增速从2021年的35%提升至2022年的151%。除清洗设备外，盛美上海积极扩大产品组合，在半导体电镀设备、半导体抛铜设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备等领域扩大布局；去年公司推出多款新设备新工艺产品，包括前道涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD设备等。

国内半导体涂胶显影设备的龙头企业芯源微业绩也逆势提速：2021年公司净利润增速为58%，2022年业绩快报显示，公司净利润接近2亿元，同比增长155%。

去年芯源微新签订单规模同比大幅增长，并采取多种措施保供保产，确保了疫情期间正常的生产经营活动，实现客户端订单的有序交付及顺利验收，收入规模持续增长。另外，公司集成电路前道晶圆加工领域产品收入实现快速放量，同时保持小尺寸及集成电路后道先进封装领域产品收入稳步增长，公司利润持续增长。

芯源微高管介绍，公司将持续巩固在前道物理清洗、后道先进封装及化合物等小尺寸领域的优势竞争地位，目前公司签单态势良好,客户需求旺盛。

另外，作为国产刻蚀设备龙头，中微公司除布局薄膜设备外，还投资了光学检测设备市场。2022年公司扣非净利润约9亿元，同比增长1.83倍；去年新签订单金额约63.2亿元，同比增长约五成。

相对而言，偏重半导体后道的测试设备类公司业绩承压。

国产测试机龙头华峰测控净利润增速从2021年1.2倍增长降至2022年约两成。在业绩快报中，公司表示持续受到疫情的影响，叠加半导体市场景气度的不断低迷，给业绩增长带来了巨大挑战。

华峰测控在模拟及数模混合测试设备领域打破了国外厂商的垄断地位。民生证券指出，去年第四季度华峰测控的订单已经出现底部回暖迹象，大功率测试及STS8300机台放量，有望进一步打开增长空间。

加速国产设备导入

A股半导体设备厂商的业绩增势与国际趋势相似。

国际半导体产业协会（SEMI）最新报告显示，半导体制造设备的全球销售额在2022年实现创纪录的1076亿美元，同比增长5%，增速回落。分产品类型来看，晶圆加工设备全球销售额增长8%，而测试设备总销售额同比下降4%。

考虑全球通货膨胀导致消费性电子需求低迷，以及行业去库存进程的因素，SEMI预期，2023年全球半导体设备市场规模将减少16%达912亿美元；预计随着库存修正结束，看好2024年半导体设备市场将出现明显回温，市场规模将达1071.6亿美元，有望同比增长18%。记者也注意到，部分半导体零部件厂商、气体厂商下调了2023年业绩增长预期。

分地区来看，去年中国投资步伐有所放缓，销售额为283亿美元，但依旧连续第三年成为最大的半导体设备市场。半导体周期下行，但国产半导体制造厂商非常给力，为设备厂商业绩增长提供市场空间。

A股晶圆代工厂龙头中芯国际将2023年全年资本支出从约320.5亿元上调为456亿元，用以支付长交期设备预付款；华虹半导体今年1月也获国家集成电路产业基金二期等主体增资上市公司合营公司，并投资合计67亿美元用于扩充12英寸晶圆产能。

除了受行业周期因素影响，国产半导体设备环节面临更大的地缘政治和贸易冲突压力。继3月初荷兰方面计划实施新芯片出口限制，3月31日，日本政府方面计划将高端半导体制造设备等23品类纳入出口管制类别。中国外交部、商务部等此前均作出回应。

有国内头部晶圆厂商向证券时报·e公司记者透露，公司产线已经加大对国产设备、材料的验证和导入力度，作为今年重点任务来推进。

士兰微董事长陈向东在近期接受证券时报·e公司专访时也指出，士兰微的芯片制造产线对国产设备、零部件、材料等供应商均持积极开放的态度，公司产线已经引入了很多国产“首台套”设备。

“过去国产半导体发展慢，主要原因就是没有大厂客户带动；现在国际形势变化，大厂客户愿意采用，并且形成良性互动。”陈向东指出，国产自主可控进程是个“持久战”，需要产业链各环节充分参与和互动，才能让国产半导体上下游产业链逐步发展成熟。

招商证券指出，近年来国内半导体设备厂商营收增速较快，但整体国产化率仍然较低，前端测试、涂胶显影等设备国产化率预计均不足10%，刻蚀、热处理、清洗等设备国产化率预计超过20%，仍有较大提升空间，建议关注市场空间较大、受管制影响较大、国产化率较低的设备，以及受益于整体国产化进程加速的其他设备和零部件标的。