截至3月27日收盘，光刻机概念上涨4.21%，位居概念板块涨幅第2，板块内，32股上涨，新莱应材20%涨停，凯美特气、海立股份等涨停，芯碁微装、国林科技、富创精密等涨幅居前，分别上涨12.29%、10.14%、9.69%。跌幅居前的有大族激光、电科数字等，分别下跌0.21%、0.16%。

今日涨跌幅居前的概念板块

资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入11.58亿元，其中，25股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是海立股份，今日主力资金净流入4.01亿元，净流入资金居前的还有新莱应材、张江高科、凯美特气等，主力资金分别净流入2.75亿元、1.01亿元、7383.17万元。

资金流入比率方面，凯美特气、海立股份、新莱应材等流入比率居前，主力资金净流入率分别为40.95%、32.07%、16.71%。（数据宝）

光刻机概念资金流入榜