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2025-06-24 17:37
投资者_1750340201036：请问贵公司在固态电池产业链中的具体分工是什么？除了提供相关设备以外，是否也提供了配套的前驱体和工艺服务包？这些配套的前驱体和工艺服务包的用量或营收是否和后续电池产量成正比？配套的前驱体和工艺服务包的采购方是不是都是下游电芯制造商？
微导纳米：尊敬的投资者，您好。公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，已形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，目前客户主要覆盖半导体领域产业链核心厂商和头部光伏厂商。感谢您的关注。
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2025-04-10 17:01
投资者_1701661025000：国内半导体薄膜沉积市场格局如何，公司发展近况如何？
微导纳米：尊敬的投资者您好。传统半导体设备市场主要由阿斯麦（ASML）、应用材料（AMAT）、泛林半导体（LAM）、东京电子（TEL）、先晶半导体（ASMI）等欧美日系厂商占主要市场份额。国内半导体产业的发展，客户对新器件、新架构、新材料、新工艺的需求不断推动薄膜沉积技术的创新，对高端自主可控薄膜沉积设备的需求日益强烈。微导纳米作为国内领先的半导体集成电路高端专用薄膜沉积设备供应商，拟通过再融资募资约11亿元，全面用于国内半导体领域亟需的关键工艺环节，助力国内半导体产业实现关键设备的自主可控。感谢您的关注。
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2025-03-04 09:30
投资者_1734334634572：公司的ALD技术能否应用于固态电池？是否已有该方面的业务进展？
微导纳米：尊敬的投资者您好，ALD 技术具有优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和对膜厚的精确控制等特点，能够实现较高的台阶覆盖率，是一项具备前瞻与共性的关键真空镀膜技术，可应用于多个重要产业。目前公司ALD技术主要应用于晶圆加工及光伏电池片生产的薄膜沉积工艺环节。感谢您的关注。
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2025-02-10 16:41
投资者_1492484638000：国家正在大力推进原子级制造，贵司也在去年担任原子级制造创新发展联盟首批副理事长单位，请问在原子级制造领域，贵司是否有意配合国家的五年发展规划，将公司打造成为国家级的原子级制造平台？有无具体规划？
微导纳米：尊敬的投资者您好，微导纳米作为原子级制造创新发展联盟副理事长单位和国内ALD技术的代表企业，将以国家相关政策为导向，不断加大科技创新力度，与高校、科研院所等各方共同携手，推动构建产学研深度融合的协同创新格局，不断拓展原子层沉积（ALD）技术在其他新兴领域的产业化应用，感谢您的关注。
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2025-02-10 16:40
投资者_1434334588000：请问公司董秘,每隔多长时间关注投资者互动问题并回答？
微导纳米：尊敬的投资者您好，公司重视与投资者的沟通与互动并严格按照相关规定与投资者进行沟通交流。感谢您的关注！
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2025-02-10 16:39
投资者_1492484638000：贵司是原子层沉积的龙头，与 ALD（原子层沉积）相对的ALE(原子层刻蚀)领域，贵司有无相关技术储备？
微导纳米：尊敬的投资者您好，公司深耕薄膜沉积设备工艺技术研发和应用场景拓展，高度重视技术创新，在微、纳米级薄膜沉积核心技术领域积累了丰富的技术储备， 已形成多项核心技术， 构建以原子层沉积（ALD） 技术为核心， 化学气相沉积（CVD） 等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。感谢您的关注。
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2025-02-10 16:39
投资者_1738925561500：何时发布2024年度业绩预告？
微导纳米：尊敬的投资者您好，公司将按照法律法规及《上海证券交易所科创板股票上市规则》中涉及业绩预告的相关规定，结合业绩情况履行信息披露义务。感谢您的关注。
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2025-02-10 16:39
投资者_1492484638000：贵司是原子层沉积的龙头，与ALD（原子层沉积）相对的ALE(原子层刻蚀)领域，贵司有无相关技术储备？
微导纳米：尊敬的投资者您好，公司深耕薄膜沉积设备工艺技术研发和应用场景拓展，高度重视技术创新，在微、纳米级薄膜沉积核心技术领域积累了丰富的技术储备，已形成多项核心技术，构建以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。感谢您的关注。
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2025-02-10 16:37
投资者_1492484638000：在硅基 OLED领域，贵司的薄膜沉积设备已得到京东方、合肥视涯、浙江宏禧等知名公司的验证，请问有重复订单吗？在micro led 领域，贵司有无适用的薄膜沉积设备？
微导纳米：尊敬的投资者您好，在新型显示领域内，公司已陆续获得了如京东方、合肥视涯、浙江宏禧等硅基 OLED （Micro-OLED）领域知名客户的订单，并顺利出货，部分产品实现产业化应用。公司iTomic?MW系列批量式原子层沉积系统采用创新的批量型（mini-batch）腔体设计，可一次处理25片12英寸晶圆，适用于成膜镀率低，厚度要求高，以及产能要求高的关键工艺及应用，可为Micro-OLED显示器等提供定制化量产的解决方案。目前相关产品订单和业务收入占比较小，下游市场尚在开拓中，未对公司经营业绩造成重大影响。感谢您的关注。
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2025-02-10 16:36
投资者_1492484638000：在硅基OLED领域，贵司的薄膜沉积设备已得到京东方、合肥视涯、浙江宏禧等知名公司的验证，请问有重复订单吗？在microled领域，贵司有无适用的薄膜沉积设备？
微导纳米：尊敬的投资者您好，在新型显示领域内，公司已陆续获得了如京东方、合肥视涯、浙江宏禧等硅基OLED（Micro-OLED）领域知名客户的订单，并顺利出货，部分产品实现产业化应用。公司iTomic MW系列批量式原子层沉积系统采用创新的批量型（mini-batch）腔体设计，可一次处理25片12英寸晶圆，适用于成膜镀率低，厚度要求高，以及产能要求高的关键工艺及应用，可为Micro-OLED显示器等提供定制化量产的解决方案。目前相关产品订单和业务收入占比较小，下游市场尚在开拓中，未对公司经营业绩造成重大影响。感谢您的关注。
