北方华创发布12英寸先进气体团簇离子束刻蚀设备

来源：人民财讯作者：周映彤2026-06-02 10:00

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人民财讯6月2日电，记者获悉，日前，北方华创正式发布全新12英寸气体团簇离子束（GCIB）刻蚀设备Acme Glaion130。设备突破三大核心技术瓶颈，覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及AR/VR应用场景。

责任编辑：刘巧玲

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