华海清科离子注入机交付国内先进存储龙头企业

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华海清科离子注入机交付国内先进存储龙头企业

来源：人民财讯2026-05-06 09:06

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人民财讯5月6日电，据华海清科消息，近日，华海清科全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内先进存储领域龙头企业。公司表示，这是继此前该装备批量交付多家集成电路制造头部企业后，华海清科离子注入系列装备在存储芯片领域的又一重要进展。

责任编辑：郑灶金

SH 华海清科

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