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全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
来源：杭州日报2025-08-14 09:22
（原标题：全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉” 量子芯片研发有了“中国刻刀”）

人民财讯8月14日电，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯：作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

责任编辑： 刘良文
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