人民财讯3月10日电，中信证券指出，国内对于光刻机产业链的投资和支持力度持续加大，国产高端光刻机的发展有望获得推动，半导体设备产业链将有望同步受益。未来若DUV及EUV设备逐步实现国产化突破，国内先进制程产线有能力逐步实现国产替代，有望迎来新一轮的半导体扩产周期。建议关注受到光刻机“卡脖子”问题影响的半导体制造、设备、零部件自主化替代的相关公司，尤其是光刻工艺相关的设备和零部件厂商。此外，受益于国产光刻机突破，未来国内先进制程扩产有望加速。