截至2月25日收盘，光刻机概念上涨1.64%，位居概念板块涨幅第4，板块内，23股上涨，东方嘉盛涨停，茂莱光学、蓝英装备、百傲化学等涨幅居前，分别上涨13.62%、11.63%、4.66%。跌幅居前的有电科数字、同飞股份、晶方科技等，分别下跌5.11%、4.96%、2.97%。

今日涨跌幅居前的概念板块

资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入4.80亿元，其中，20股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超3000万元，净流入资金居首的是蓝英装备，今日主力资金净流入2.75亿元，净流入资金居前的还有张江高科、东方嘉盛、百傲化学等，主力资金分别净流入1.81亿元、1.28亿元、4561.59万元。

资金流入比率方面，东方嘉盛、蓝英装备、鸿利智汇等流入比率居前，主力资金净流入率分别为36.35%、16.21%、9.73%。（数据宝）

光刻机概念资金流入榜