截至1月13日收盘，光刻机概念上涨2.47%，位居概念板块涨幅第1，板块内，29股上涨，茂莱光学、永新光学、波长光电等涨幅居前，分别上涨15.23%、8.70%、6.87%。跌幅居前的有思泰克、百傲化学、芯碁微装等，分别下跌4.57%、1.22%、0.97%。

今日涨跌幅居前的概念板块

资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入1.72亿元，其中，17股获主力资金净流入，8股主力资金净流入超千万元，净流入资金居首的是永新光学，今日主力资金净流入6169.08万元，净流入资金居前的还有张江高科、海立股份、茂莱光学等，主力资金分别净流入5297.58万元、2324.37万元、1445.99万元。

资金流入比率方面，永新光学、东方嘉盛、海立股份等流入比率居前，主力资金净流入率分别为12.21%、6.04%、5.90%。（数据宝）

光刻机概念资金流入榜