珠海:大力发展光刻胶及其配套化学品,积极布局DUV光刻胶、EUV光刻胶等高端领域产品
来源:人民财讯2025-01-07 09:42

证券时报e公司讯,珠海市工业和信息化局公开征求 《珠海市电子化学品产业发展三年行动方案(2025-2027年)(征求意见稿)》 意见。其中提到,致力于发展我国电子化学品“卡脖子”技术以及进口替代产品,支持引育一批掌握新工艺、新技术的团队或中小型科技企业,推动产业链条向高附加值领域攀升。其中,包括光刻胶及其配套化学品。重点围绕现有龙头企业,积极布局电子束胶、深紫外线(DUV)光刻胶、极紫外线(EUV)光刻胶等高端领域产品。聚焦目前国产化率较低、市场需求较大的高端KrF、ArF深紫外线(DUV)光刻胶,逐步向上游树脂单体原材料、光引发剂、高纯溶剂、助剂等配套化学品领域延伸,力争打造全国规模最大、技术最先进的光刻胶产业集群。

责任编辑: 刘良文
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