截至10月8日收盘，光刻机概念上涨15.05%，位居概念板块涨幅第9，板块内，30股上涨，新莱应材、赛微电子、炬光科技等20%涨停，海立股份、旭光电子、泰晶科技等涨停，美埃科技、腾景科技、同飞股份等涨幅居前，分别上涨19.63%、18.84%、18.78%。

今日涨跌幅居前的概念板块

资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流出10.06亿元，其中，5股获主力资金净流入，净流入资金居首的是芯碁微装，今日主力资金净流入6991.27万元，净流入资金居前的还有炬光科技、珂玛科技、茂莱光学等，主力资金分别净流入3355.64万元、2228.30万元、940.47万元。

资金流入比率方面，珂玛科技、芯碁微装、炬光科技等流入比率居前，主力资金净流入率分别为63.77%、10.42%、7.78%。（数据宝）

光刻机概念资金流入榜

主力资金、超级复盘

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注：本文系新闻报道，不构成投资建议，股市有风险，投资需谨慎。