2025年3月26日，拓荆科技(688072)在SEMICON China 2025展会首日隆重召开主题为"拓芯章·见未来"的新品发布会，集中发布ALD系列、3D-IC及先进封装系列、CVD系列新品，全面展现其在半导体薄膜沉积及先进封装领域的技术突破与产业布局，吸引了行业领袖、媒体及投资者等数百名嘉宾到场见证。

硬核技术发布，定义行业新高度

发布会伊始，董事长吕光泉博士系统阐述了拓荆科技的技术研发与产品策略。他指出，公司依托多年技术积累，已从前道薄膜设备走向3D-IC设备，2024年反应腔出货量超1000台。2025年拓荆将保持高研发投入，持续产品升级，满足客户量产和研发需求，实现从"国产替代"向"技术引领"的战略升级。

随后，三大战略新品逐一揭晓：ALD事业部总经理陈新益博士表示，拓荆在国内实现了ALD设备装机量第一，ALD薄膜工艺覆盖率第一，并详细解读了新一代原子层沉积设备VS-300T在坪效比、成本（CoO）、薄膜均匀性等方面的优势。

3D-IC和先进封装事业部总经理郭万里先生阐述了拓荆在键合和相关产品的布局，实现国产键合领域设备装机量及键合相关工艺覆盖率第一。此次新品发布介绍了低应力熔融键合设备Dione 300F、芯片对晶圆混合键合设备Pleione、激光剥离设备Lyra和键合套准精度量测设备Crux 300。

CVD事业部总经理宁建平则介绍了拓荆科技在CVD应用能力方面已得到市场及客户的充分肯定，目前的研发方向主要集中在提升客户生产效率上。她指出，CVD事业部在2023—2024年出货10种新产品，同时推出高产能、高性价比的新平台PF-300M，达成了提高厚膜产能，整合工艺和提升效率的目标。三位技术负责人的分享，凸显了拓荆科技半导体制造技术延伸和扩展的硬核实力。

启幕仪式掀高潮，共绘产业新蓝图

三位负责人介绍新品后，发布会迎来最激动人心的启幕环节。在数百名嘉宾的倒数声中，吕光泉董事长与三位事业部负责人共同揭开新品模型帷幕，LED大屏同步呈现动态技术演示，恢弘的音乐将现场氛围推向高潮。

此次发布会不仅是拓荆科技技术实力的集中展示，更为中国半导体设备行业注入了新的活力。在“自主创新”与“国际竞合”的双轮驱动下，拓荆科技正以硬核技术重新定义行业边界，开启中国半导体设备的崭新篇章。（燕云）

校对：吕久彪