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中微公司刻蚀设备反应台全球出货超5000台
来源：人民财讯作者：e公司2025-03-12 09:40

人民财讯3月12日电，今日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）宣布其等离子体刻蚀设备反应总台数全球累计出货超过5000台。这包括CCP高能等离子体刻蚀机和ICP低能等离子体刻蚀机、单反应台反应器和双反应台反应器共四种构型的设备。等离子体刻蚀机，是光刻机之外，最关键的、也是市场最大的微观加工设备。

责任编辑： 李在山
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